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本公司生產(chǎn)的半導(dǎo)體工業(yè)用石英玻璃管和棒，在治金、化工、原子能工業(yè)、科學(xué)研究等領(lǐng)域要求高純、高溫、高化學(xué)穩(wěn)定的作業(yè)場合也得到了廣泛的應(yīng)用。按生產(chǎn)工藝分為四類產(chǎn)品：
a．真空加壓法管和棒；
b．電熔二步法管和棒：
c．氣煉、電熔二步法管和棒；
d．氣煉法管和棒
化學(xué)純度
Al、Fe、Ca、Mg、Ti、Cu、Co、Ni、Mn、K、Na、Li、B等雜質(zhì)元素的總含量不大于50PPm，
其中：
Fe≤3PPm，Cu≤0.8PPm，Na≤2PPm，K≤2PPm，Li≤2PPm，B≤0．3PPm
羥基含量：電熔法≤5PPm， 氣煉法≤400PPm，氣煉電熔二步法≤220PPm
管子的規(guī)格尺寸
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外徑（mm） |
外徑偏差% |
|
10-50 |
±3.0 |
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51-70 |
±3.0 |
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71-90 |
±2.7 |
|
91-100 |
±2.7 |
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101-150 |
±2.5 |
|
151-250 |
±2.2 |
|
壁厚mm |
壁厚偏差% |
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1.5-3.0 |
±12 |
|
3.5-4.0 |
±14 |
|
4.1-5.0 |
±15 |
A.長度偏差為管長的±1%。
B.偏壁度不得大于壁厚偏差的絕對值。
C.橢圓度不得大于外徑偏差的絕對值。
D.彎曲度不得超過管長的3。
E.管長的標(biāo)準(zhǔn)長度為1000mm。
石英棒的規(guī)格尺寸
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直徑mm |
直徑偏差% |
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2-5 |
±0.4 |
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5.1-8 |
±0.6 |
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8.1-10 |
±0.8 |
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10.1-15 |
±1.0 |
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15.1-20 |
±1.3 |
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20.1-25 |
±1.6 |
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25.1-30 |
±2.0 |
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30.1-35 |
±2.2 |
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35.1-40 |
±2.5 |
A.長度偏差為管長的±1%。
B.偏壁度不得大于直徑偏差的絕對值。
C.彎曲度不超過管長的3‰。
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